Възложен Официално публично обявление

Plasma Ashing System

Възлагащ орган
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
Местоположение
Garching, Гepмaния
Вид обявление
can-standard
Вид поръчка
Доставки
Процедура
open
Публикувано
23.10.2026 г.
CPV категория
38000000 Лабораторно, оптично и прецизно оборудване (без стъклени изделия)

Описание

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

Прочетете това обявление на вашия език

Оригинален език: немски. Текстът по-горе е оригиналното обявление.

Няма наличен превод на това обявление на този език.

Преводът помага при четенето на обявлението. Той няма правна стойност: важи само оригиналното официално обявление.