Zadaná
Oficiální veřejné oznámení
Plasma Ashing System
- Zadavatel
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Místo
- Garching, Německo
- Typ oznámení
- can-standard
- Typ zakázky
- Dodávky
- Řízení
- open
- Zveřejněno
- 23. 10. 2026
- Kategorie CPV
- 38000000 Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)
Popis
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Přečtěte si toto oznámení ve svém jazyce
Původní jazyk: němčina. Text výše je původní oznámení.
Překlad tohoto oznámení do tohoto jazyka není k dispozici.
Překlad pomáhá s četbou oznámení. Nemá právní hodnotu: platí pouze původní oficiální oznámení.