Plasma Ashing System
- Ordregivende myndighed
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Placering
- Garching, Tyskland
- Bekendtgørelsestype
- can-standard
- Kontrakttype
- Varer
- Procedure
- open
- Offentliggjort
- 23. okt. 2026
- CPV-kategori
- 38000000 Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller)
Beskrivelse
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Læs denne bekendtgørelse på dit sprog
Originalsprog: tysk. Teksten ovenfor er den oprindelige bekendtgørelse.
Der findes ingen oversættelse af denne bekendtgørelse på dette sprog.
En oversættelse hjælper dig med at læse en bekendtgørelse. Den har ingen juridisk værdi: kun den oprindelige officielle bekendtgørelse gælder.