Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Ordregivende myndighed
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Placering
- Garching, Tyskland
- Bekendtgørelsestype
- can-standard
- Kontrakttype
- Varer
- Procedure
- open
- Offentliggjort
- 23. okt. 2026
- CPV-kategori
- 38000000 Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller)
Beskrivelse
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
Læs denne bekendtgørelse på dit sprog
Originalsprog: tysk. Teksten ovenfor er den oprindelige bekendtgørelse.
Der findes ingen oversættelse af denne bekendtgørelse på dette sprog.
En oversættelse hjælper dig med at læse en bekendtgørelse. Den har ingen juridisk værdi: kun den oprindelige officielle bekendtgørelse gælder.