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Offizielle öffentliche Bekanntmachung
Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Öffentlicher Auftraggeber
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Ort
- Garching, Deutschland
- Art der Bekanntmachung
- can-standard
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Verfahren
- open
- Veröffentlicht
- 23.10.2026
- CPV-Kategorie
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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