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Offizielle öffentliche Bekanntmachung
Elektronenstrahllithografie
- Öffentlicher Auftraggeber
- Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg (Erlangen)
- Ort
- Erlangen, Deutschland
- Art der Bekanntmachung
- cn-standard
- Auftragsart
- Lieferleistungen
- Verfahren
- open
- Veröffentlicht
- 22.10.2026
- Angebotsfrist
- 23.11.2026, 22:59 UTC
- CPV-Kategorie
- 38511100 Scanning electron microscopes
Beschreibung
Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).
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- Elektronenstrahllithografie (Auftragsbekanntmachung, Bekanntmachungsservice (oeffentlichevergabe.de), 21.10.2026)