Plasma Ashing System
- Αναθέτουσα αρχή
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Τοποθεσία
- Garching, Γερμανία
- Τύπος γνωστοποίησης
- can-standard
- Τύπος σύμβασης
- Αγαθά
- Διαδικασία
- open
- Δημοσιεύθηκε
- 23 Οκτ 2026
- Κατηγορία CPV
- 38000000 Εξοπλισμός εργαστηριακός, οπτικός και ακριβείας (εκτός από γυαλιά)
Περιγραφή
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Διαβάστε αυτή την προκήρυξη στη γλώσσα σας
Αρχική γλώσσα: γερμανικά. Το παραπάνω κείμενο είναι η αρχική προκήρυξη.
Δεν υπάρχει μετάφραση αυτής της προκήρυξης σε αυτή τη γλώσσα.
Η μετάφραση βοηθά στην ανάγνωση μιας προκήρυξης. Δεν έχει νομική αξία: ισχύει μόνο η αρχική επίσημη προκήρυξη.