Adjudicada
Anuncio público oficial
Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Poder adjudicador
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Lugar
- Garching, Alemania
- Tipo de anuncio
- can-standard
- Tipo de contrato
- Suministros
- Procedimiento
- open
- Publicado
- 23 oct 2026
- Categoría CPV
- 38000000 Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Descripción
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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