Plasma Ashing System
- Hankintayksikkö
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Sijainti
- Garching, Saksa
- Ilmoituksen tyyppi
- can-standard
- Sopimustyyppi
- Tavarahankinnat
- Menettely
- open
- Julkaistu
- 23.10.2026
- CPV-luokka
- 38000000 Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)
Kuvaus
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Lue tämä ilmoitus omalla kielelläsi
Alkuperäinen kieli: saksa. Yllä oleva teksti on alkuperäinen ilmoitus.
Tälle ilmoitukselle ei ole käännöstä tällä kielellä.
Käännös auttaa lukemaan ilmoituksen. Sillä ei ole oikeudellista arvoa: vain alkuperäinen virallinen ilmoitus on pätevä.