Bronnta Fógra poiblí oifigiúil

Elektronenstrahl-Lithographiesystem

Údarás conarthach
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
Suíomh
Garching, An Ghearmáin
Cineál fógra
can-standard
Cineál conartha
Soláthairtí
Nós imeachta
open
Foilsithe
23 DFómh 2026
Catagóir CPV
38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Cur síos

Elektronenstrahl-Lithographieanlage für die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für die Forschung und Prototypenentwicklung mit hoher Auflösung. Anwendungsfelder reichen von der Herstellung von photonischen Schaltkreisen bis hin zu supraleitenden Quantenschaltkreisen mit Strukturgrößen unter 100nm und einer erforderlichen Genauigkeit im nm-Bereich.

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