Dodijeljen
Službena javna obavijest
Plasma Ashing System
- Javni naručitelj
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Lokacija
- Garching, Njemačka
- Vrsta obavijesti
- can-standard
- Vrsta ugovora
- Roba
- Postupak
- open
- Objavljeno
- 23. lis 2026.
- CPV kategorija
- 38000000 Laboratorijska, optička i precizna oprema (osim naočala)
Opis
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Pročitajte ovu objavu na svom jeziku
Izvorni jezik: njemački. Tekst iznad izvorna je objava.
Prijevod ove objave na ovaj jezik nije dostupan.
Prijevod pomaže pri čitanju objave. Nema pravnu vrijednost: vrijedi samo izvorna službena objava.