Aggiudicato
Avviso pubblico ufficiale
Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Amministrazione aggiudicatrice
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Luogo
- Garching, Germania
- Tipo di avviso
- can-standard
- Tipo di appalto
- Forniture
- Procedura
- open
- Pubblicato
- 23 ott 2026
- Categoria CPV
- 38000000 Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)
Descrizione
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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