Sudaryta sutartis
Oficialus viešas skelbimas
Plasma Ashing System
- Perkančioji organizacija
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Vieta
- Garching, Vokietija
- Skelbimo rūšis
- can-standard
- Sutarties rūšis
- Prekės
- Procedūra
- open
- Paskelbta
- 2026-10-23
- BVPŽ kategorija
- 38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
Aprašymas
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Skaitykite šį skelbimą savo kalba
Originalo kalba: vokiečių kalba. Tekstas viršuje yra originalus skelbimas.
Šio skelbimo vertimo šia kalba nėra.
Vertimas padeda perskaityti skelbimą. Jis neturi teisinės galios: galioja tik originalus oficialus skelbimas.