Plasma Ashing System
- Līgumslēdzēja iestāde
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Atrašanās vieta
- Garching, Vācija
- Paziņojuma veids
- can-standard
- Līguma veids
- Piegādes
- Procedūra
- open
- Publicēts
- 2026. gada 23. okt.
- CPV kategorija
- 38000000 Laboratorijas, optiskās un precīzijas ierīces (izņemot brilles)
Apraksts
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Lasiet šo paziņojumu savā valodā
Oriģinālvaloda: vācu valoda. Teksts augstāk ir oriģinālais paziņojums.
Šī paziņojuma tulkojums šajā valodā nav pieejams.
Tulkojums palīdz lasīt paziņojumu. Tam nav juridiska spēka: spēkā ir tikai oriģinālais oficiālais paziņojums.