Awarded
Official public notice
Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Contracting authority
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Location
- Garching, Germany
- Notice type
- can-standard
- Contract type
- Supplies
- Procedure
- open
- Published
- Oct 23, 2026
- CPV category
- 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
Description
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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