Plasma Ashing System
- Aanbestedende dienst
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Locatie
- Garching, Duitsland
- Type aankondiging
- can-standard
- Type opdracht
- Leveringen
- Procedure
- open
- Gepubliceerd
- 23 okt 2026
- CPV-categorie
- 38000000 Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Beschrijving
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Lees deze aankondiging in uw taal
Oorspronkelijke taal: Duits. De tekst hierboven is de oorspronkelijke aankondiging.
Er is geen vertaling van deze aankondiging in deze taal beschikbaar.
Een vertaling helpt bij het lezen van een aankondiging. Ze heeft geen juridische waarde: alleen de oorspronkelijke officiële aankondiging telt.