Plasma Ashing System
- Upphandlande myndighet
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Plats
- Garching, Tyskland
- Typ av meddelande
- can-standard
- Kontraktstyp
- Varor
- Förfarande
- open
- Publicerad
- 23 okt. 2026
- CPV-kategori
- 38000000 Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)
Beskrivning
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Läs den här annonsen på ditt språk
Originalspråk: tyska. Texten ovan är originalannonsen.
Det finns ingen översättning av annonsen på det här språket.
En översättning hjälper dig att läsa en annons. Den har inget rättsligt värde: endast den officiella originalannonsen gäller.