Sõlmitud
Ametlik avalik teade
Plasma Ashing System
- Hankija
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Asukoht
- Garching, Saksamaa
- Teate liik
- can-standard
- Lepingu liik
- Asjad
- Menetlus
- open
- Avaldatud
- 23. okt 2026
- CPV-kategooria
- 38000000 Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid)
Kirjeldus
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Lugege seda teadet oma keeles
Originaalkeel: saksa keel. Ülaltoodud tekst on algne teade.
Selle teate tõlget ei ole selles keeles saadaval.
Tõlge aitab teadet lugeda. Sellel ei ole õiguslikku väärtust: kehtib ainult algne ametlik teade.