Attribué
Avis public officiel
Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Pouvoir adjudicateur
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Lieu
- Garching, Allemagne
- Type d'avis
- can-standard
- Type de marché
- Fournitures
- Procédure
- open
- Publié le
- 23 oct. 2026
- Catégorie CPV
- 38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
Description
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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