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Elektronenstrahllithografie

Pouvoir adjudicateur
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg (Erlangen)
Lieu
Erlangen, Allemagne
Type d'avis
cn-standard
Type de marché
Fournitures
Procédure
open
Publié le
21 oct. 2026
Date limite de remise
23 nov. 2026, 22:59 UTC
Catégorie CPV
38511100 Scanning electron microscopes

Description

Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).

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