Odaítélt Hivatalos nyilvános hirdetmény

Plasma Ashing System

Ajánlatkérő szerv
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
Helyszín
Garching, Németország
Hirdetmény típusa
can-standard
Szerződés típusa
Árubeszerzés
Eljárás
open
Közzétéve
2026. okt. 23.
CPV-kategória
38000000 Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek)

Leírás

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

Olvassa el ezt a hirdetményt a saját nyelvén

Eredeti nyelv: német. A fenti szöveg az eredeti hirdetmény.

Ehhez a hirdetményhez nem érhető el fordítás ezen a nyelven.

A fordítás segít a hirdetmény olvasásában. Nincs jogi értéke: csak az eredeti hivatalos hirdetmény az irányadó.