Plasma Ashing System
- Zamawiający
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Lokalizacja
- Garching, Niemcy
- Rodzaj ogłoszenia
- can-standard
- Rodzaj zamówienia
- Dostawy
- Procedura
- open
- Opublikowano
- 23 paź 2026
- Kategoria CPV
- 38000000 Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)
Opis
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Przeczytaj to ogłoszenie w swoim języku
Język oryginału: niemiecki. Powyższy tekst to oryginalne ogłoszenie.
Brak tłumaczenia tego ogłoszenia na ten język.
Tłumaczenie ułatwia czytanie ogłoszenia. Nie ma mocy prawnej: liczy się tylko oryginalne ogłoszenie oficjalne.