Adjudicado
Anúncio público oficial
Atomic Layer Deposition (ALD) System
- Autoridade adjudicante
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Localização
- Garching, Alemanha
- Tipo de anúncio
- can-standard
- Tipo de contrato
- Fornecimentos
- Procedimento
- open
- Publicado
- 23 de out. de 2026
- Categoria CPV
- 38000000 Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos)
Descrição
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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