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Elektronenstrahllithografie

Autoridade adjudicante
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg (Erlangen)
Localização
Erlangen, Alemanha
Tipo de anúncio
cn-standard
Tipo de contrato
Fornecimentos
Procedimento
open
Publicado
21 de out. de 2026
Prazo de apresentação
23 de nov. de 2026, 22:59 UTC
Categoria CPV
38511100 Scanning electron microscopes

Descrição

Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).

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