Zadaná
Oficiálne verejné oznámenie
Plasma Ashing System
- Verejný obstarávateľ
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (Garching)
- Miesto
- Garching, Nemecko
- Typ oznámenia
- can-standard
- Typ zákazky
- Tovary
- Postup
- open
- Zverejnené
- 23. 10. 2026
- Kategória CPV
- 38000000 Laboratórne, optické a presné prístroje a vybavenie (s výnimkou skiel)
Opis
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Prečítajte si toto oznámenie vo svojom jazyku
Pôvodný jazyk: nemčina. Text vyššie je pôvodné oznámenie.
Preklad tohto oznámenia do tohto jazyka nie je k dispozícii.
Preklad pomáha pri čítaní oznámenia. Nemá právnu hodnotu: platí iba pôvodné oficiálne oznámenie.